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- 集成電路及微電子制造
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微納電路橢偏測(cè)量機(jī)ELL100
產(chǎn)品型號(hào)：ELL100
微納電路橢偏測(cè)量機(jī)
- 詳細(xì)內(nèi)容
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1、測(cè)量尺寸：≤120mm；
2、測(cè)量材料：微納半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、薄膜光伏、電極材料等；
3、光譜種類：Psi/Delta、N/C/S、R等光譜；
4、光線入射角：固定角；
5、光譜波長：400-800nm；
6、單次測(cè)量時(shí)間：＜10s；
7、膜厚重復(fù)精度：優(yōu)于0.01nm；
8、光斑范圍：2-4mm（大光斑）；
9、折射率重復(fù)精度：0.001；
10、聚焦功能：手動(dòng)找焦；
11、電源：220VAC/50Hz，300W；
12、機(jī)器重量：150kg；
13、機(jī)器尺寸：D320mm× W620mm×H530mm。
